وحدات Wet Bench.

يُعزل نطاق تنفّس المشغّل عزلاً تاماً عن الأبخرة الكيميائية، بمجاري عادم موضعية ذات سحب سفلي مصمّمة حول الحوض ودروع رذاذ شفافة من البولي كربونات.

تُفصل كل خلية حوض عن الأخرى فيزيائياً بحواجز PP عالية، وتُنشأ خطوط تصريف مستقلّة لكل مادة كيميائية، فيُمنع اختلاط السوائل.

يحوي النظام أقفالاً تشابكية مادّية تقطع الطاقة تلقائياً عن السخّانات المكسوّة بالكوارتز أو الفلوروبوليمر، حين يهبط مستوى السائل دون حدّ ملّيمتري معيّن.

يُمنع مرور البخار والسائل الكيميائي بدقة الميكرون، باستخدام أنظمة تعشيق بوليمرية بلسان وأخدود مفرَّزة خصيصاً، وحشيّات EPDM/Viton مزدوجة الطبقة.

بنية ميكانيكا الموائع مزوّدة بأنظمة صمامات تناسبية مغلقة الحلقة تعوّض الضغوط المتغيّرة تلقائياً؛ فلا تتأثّر التدفّقات القائمة عند إضافة وحدة غسيل جديدة.

نعم، فالـ PLC الرئيسي يتعرّف على كل وحدة بوصفها عقدة عملية فرعية. ويمكن برمجة الوصفات باستقلال لكل خلية بمعاملات حرارة ومدة وجرعات خاصة بها.

تقرأ حسّاسات المقاومة النوعية الموضوعة على خط خروج أحواض الشطف التعاقبية نقاءَ الماء باستمرار. ولا يُنهي الـ PLC الدورة حتى تبلغ القيمة المستوى المستهدف (18 ميغا أوم·سم مثلاً).

تضيف مضخّات الجرعات التمعّجية أو الغشائية المادة الكيميائية الناقصة إلى الحوض تلقائياً وبدقة الملّيلتر، استناداً إلى تغذية راجعة من حسّاسات التركيز.

تنفّذ المحرّكات الهوائية أو محرّكات السيرفو في نظام المصعد سرعةَ الغمر بمنحنى ناعم في الإقلاع والتوقّف، بما لا يُحدث صدمة هيدروديناميكية.

تعمل الأجزاء الميكانيكية المتحرّكة (القضبان والسيور) داخل أجسام مغلقة معزولة تماماً. ويُطبَّق ضغط سلبي مستمرّ على هذه الأقسام، فتُوجَّه جسيمات الاهتراء الميكانيكي المحتملة مباشرةً إلى العادم ويُمنع اختلاطها بهواء الغرفة النظيفة.

ينقل النظام رقم الدفعة وحرارة الحوض ووصفة العملية وبيانات الحسّاسات إلى شبكة نظام إدارة الإنتاج (MES) في حزم بأجزاء من الألف من الثانية. وعند أي انحراف عن الهامش، تسحب الوحدة الكاسيت المعني إلى منطقة انتظار آمنة وترسل رمز عطل إلى المركز.

تستغرق عمليات التفريغ ثوانٍ بفضل هندسة القاع على شكل V المحسَّنة في تصاميم الأحواض والصمامات الهوائية عالية التدفّق. وتُقلَّص أزمنة التوقّف إلى أدناها بالتعبئة في الوقت نفسه من خط المواد الكيميائية الطازجة المسخَّنة.