Industrielle Wet-Bench-Anlagen.
Reaktoren für Oberflächenvorbereitung und Nassätzen, in denen Partikel- und Ionenkontamination im ppt-Bereich gehalten werden.
Die Hauptreaktoren jener Prozesse, die Reinheit im Bereich von Teilen pro Billion (ppt) verlangen.
Wet-Bench-Anlagen sind die Hauptreaktoren jener Prozesse, in denen Partikel- und Ionenkontamination im Bereich von Teilen pro Billion (ppt) bleiben muss. In der Oberflächenvorbereitung und beim Nassätzen sichern sie vollständige Abschottung, hydrodynamische Stabilität und gleichbleibende Prozessqualität.
Manuelle Wet Bench Flexible Stationen für Forschung und Kleinserien
Diese Stationen für Entwicklungslabore und spezialisierte Kleinserien sind konstruktive Schutzbarrieren, die in flexiblen chemischen Abläufen mit menschlichem Eingriff die Sicherheit des Bedieners strömungstechnisch maximieren. In kleinen Losgrößen führen sie präzise Nassreinigung, manuelles Tauchen und Oberflächenvorbereitung einwandfrei durch.
- Systemarchitektur
- Monolithischer Korpus aus schwer entflammbarem Polypropylen (FRPP) mit FM4910-Zulassung und nahtlose Dichtstellen, im Infrarot-Stumpfschweißverfahren gefügt.
- Fluid- und Abluftregelung
- Handbetätigte PTFE-Membranventile und örtliche Down-Draft-Absaugkanäle, die den Atembereich des Bedieners abschirmen.
- Kritische Anwendungen
- RCA-Reinigungsversuche an Wafern in Nanotechnologielaboren der Hochschulen und manuelle Passivierung von Titanimplantaten im medizinischen Prototypenbau.
Örtliche Down-Draft-Absaugkanäle rund um das Becken und transparente Spritzschutzscheiben aus Polycarbonat schirmen den Atembereich des Bedieners vollständig von den Chemiedämpfen ab.
Jede Beckenzelle ist durch hohe PP-Trennwände physisch abgegrenzt, und für jede Chemikalie wird eine eigene Ablaufleitung gelegt, sodass sich die Medien nicht vermischen.
Die Anlage besitzt hardwareseitige Verriegelungen, die die Quarz- oder fluorpolymerbeschichteten Heizungen automatisch abschalten, sobald der Füllstand unter eine festgelegte Marke fällt.
Modulare Wet Bench Skalierbare Plattformen mit Plug-and-play-Flexibilität
Diese Anlagen passen sich wechselnden Rezepturen sofort an und bieten durch ihren zellularen Aufbau bei Kapazitätserweiterungen Plug-and-play-Flexibilität — Prozessplattformen mit Zukunft. In skalierbaren Fertigungslinien lassen sich verschiedene Beckenkonfigurationen rasch umstellen.
- Systemarchitektur
- Modulare Wechselkassetten für die Becken, die sich schnell in die Linie einfügen, samt PFA-Verrohrung mit Schnellkupplungen.
- Automatisierungsnetz
- Eigenständige I/O-Module im geschlossenen Regelkreis, die in Echtzeit mit der zentralen Bedieneinheit (HMI) kommunizieren.
- Kritische Anwendungen
- Serienreinigung unterschiedlich großer HF-Module in der Luftfahrtindustrie und Führung verschiedener Ätzrezepte über eine einzige Linie in Halbleiter-Testbetrieben.
Gefräste Nut-und-Feder-Steckverbindungen aus Polymer und zweilagige Dichtungen aus EPDM/Viton unterbinden den Übertritt von Dampf und Flüssigkeit bis in den Mikrometerbereich.
Die Fluidtechnik ist mit Druckreglern im geschlossenen Regelkreis ausgestattet, die Druckänderungen selbsttätig ausgleichen; wird ein weiteres Spülmodul angebaut, bleiben die bestehenden Volumenströme unberührt.
Ja, die zentrale SPS führt jedes Modul als eigenen Prozessknoten. Rezepte lassen sich je Zelle mit eigenen Werten für Temperatur, Zeit und Dosierung getrennt programmieren.
Halbautomatische Wet Bench SPS-geführte Reaktoren für maximale Wiederholgenauigkeit
In diesen auf Produktivität ausgelegten Reaktoren übernimmt die Maschine die kritischen Parameter — Temperatur, Volumenstrom, Konzentration — selbsttätig, während der Bediener nur die Kassetten be- und entlädt. Die hydrodynamischen und thermodynamischen Zyklen laufen automatisch, was Wiederholgenauigkeit und Gleichmäßigkeit auf das höchste Niveau bringt.
- Transferdynamik
- Pneumatische Hubsysteme mit Sanftanlauf, die den hydrodynamischen Stoß beim Eintauchen dämpfen.
- Prozessregelung
- SPS-Autonomie, unterstützt durch Massendurchflussregler (MFC) und präzise Leitfähigkeits- bzw. Widerstandssonden.
- Kritische Anwendungen
- Ultraschallreinigung und Trocknung optischer Linsen der Verteidigungsindustrie mit Reinstwasser sowie MEMS-Fertigungslinien mittlerer Stückzahl.
Am Austritt der Kaskadenspülbecken messen Inline-Widerstandssensoren die Wasserreinheit fortlaufend. Die SPS beendet den Zyklus erst, wenn der Zielwert erreicht ist, etwa 18 MΩ·cm.
Anhand der Rückmeldung der Konzentrationssensoren ergänzen peristaltische oder Membrandosierpumpen die verbrauchte Chemie millilitergenau und automatisch.
Die pneumatischen oder Servoantriebe des Hubwerks fahren die Eintauchbewegung mit sanftem Anlauf- und Bremsprofil, sodass kein hydrodynamischer Stoß entsteht.
Vollautomatische Wet Bench SECS/GEM-integrierte Systeme für die menschenleere Fertigung
Diese Anlagen schalten den menschlichen Eingriff vollständig aus und kommunizieren über SECS/GEM im Sinne von Industrie 4.0 — die Spitze der geschlossenen, menschenleeren Fertigung. In der Serienproduktion großer Stückzahlen laufen alle Abläufe autonom, vom Kassettentransfer über den Chemiewechsel bis zur Störungserkennung.
- Roboterarchitektur
- Mehrachsige servogeregelte Handhabungsroboter und geschlossene Mechanikgehäuse mit Partikelabschottung.
- Systemintegration
- Mikroklimakabine mit HEPA-/ULPA-Filtern, integriertes Chemikalienmanagement (CMS) und SECS-II/GEM-Schnittstelle.
- Kritische Anwendungen
- Nassätzen und IPA-Dampftrocknung (Marangoni-Trocknung) von Chips in Halbleiterlinien mit hohem Durchsatz (300-mm-Wafer).
Die bewegten Bauteile — Führungen und Riemen — laufen in vollständig gekapselten Gehäusen. In diesen Bereichen herrscht dauerhaft Unterdruck, sodass Abriebpartikel direkt in die Abluft gelangen und nicht in die Reinraumluft.
Die Anlage überträgt Losnummer, Badtemperatur, Prozessrezept und Sensordaten in Millisekundenpaketen an das Produktionsleitsystem (MES). Bei einer Toleranzabweichung zieht sie die betroffene Kassette in einen sicheren Warteplatz und meldet einen Fehlercode an die Leitstelle.
Durch die optimierte V-Bodengeometrie der Becken und pneumatische Ventile mit großem Querschnitt dauert das Entleeren nur Sekunden. Zeitgleich wird aus der vorgewärmten Frischchemieleitung befüllt, sodass die Stillstandszeit minimal bleibt.