Оборудование для чистых помещений.
Оборудование по ISO 14644, образующее стерильный, антистатичный и полностью изолированный каркас химической логистики.
Стерильный, антистатичный и полностью изолированный каркас химической логистики.
Любое оборудование, вносимое в чистое помещение, должно отвечать нормам ISO 14644 по газовыделению полимеров и образованию частиц. Наше оборудование образует стерильный, антистатичный и полностью изолированный каркас химической логистики.
Шкафы хранения реагентов Локальные сейфы с автономной вентиляцией
Это локальные сейфы, в которых высокореакционные и коррозионные реагенты чистого помещения хранятся в сверхбезопасных шкафах с собственной автономной вентиляцией и системой контроля протечек. Кислоты, щёлочи и горючие растворители удерживаются под замком в системах с поддонами, а их пары никогда не попадают в чистое помещение.
- Архитектура изоляции
- полимерные конструкции высокого класса FM4910 и независимые вытяжные патрубки для каждого отсека.
- Контроль протечек
- бесшовные литые поддоны сбора проливов ёмкостью 110 % и кислотостойкие петли из PTFE.
- Ответственные применения
- посменное хранение реагентов в зонах производства микросхем и изоляция агрессивных стерилизующих средств в медицинских лабораториях.
В общем воздушном объёме — никогда. Внутренность шкафа делится на полностью независимые изолированные ячейки, непроницаемые для воздуха и жидкости, а вытяжка каждой подключается к отдельному ответвлению, что исключает перекрёстную реакцию.
Дно полок выполнено перфорированным или решётчатым, а под ним расположены бесшовные литые полимерные поддоны, вмещающие весь объём жидкости соответствующей полки и даже больше. Жидкость удерживается там, а датчик протечки подаёт сигнал тревоги.
В наших шкафах металлические петли не применяются. Цельнолитые петли из PP, выдерживающие высокие нагрузки, или тефлоновая фурнитура снимают риск коррозии на молекулярном уровне.
Тележки для перевозки реагентов Мобильные платформы с антистатической защитой и гашением плескания
Это мобильные платформы, которые делают надёжным перемещение — слабое звено логистической цепи на прецизионных производствах — за счёт гидродинамической конструкции против плескания и антистатической защиты. Они позволяют переносить кассеты микросхем и ёмкости с растворами между постами без взбалтывания жидкости и электростатического риска.
- Динамика шасси
- корпус из проводящего полимера с углеродным наполнителем, рассеивающий электростатический заряд, и антистатические полиуретановые колёса.
- Устойчивость при перемещении
- виброгасящие подвески и гнёзда, обработанные на станках с ЧПУ точно по геометрии кассет и канистр.
- Ответственные применения
- перевозка контейнеров FOUP на линиях 300-миллиметровых пластин и перемещение имплантатов из кислотной ванны в ванну чистой воды в медицине.
Полимер корпуса со специальным наполнителем мгновенно передаёт заряд на антистатические колёса. Поверхностное сопротивление калибруется в диапазоне от 106 до 109 Ом на квадрат, что обеспечивает контролируемый сток заряда на заземлённый пол.
Несущие поверхности опираются на эластомерные подушки, гасящие ускорения. Кроме того, гнёзда обрабатываются точно по геометрии ёмкости, что гидродинамически ограничивает плескание.
Да: монолитные и полностью непористые полимерные поверхности пригодны к полной дезактивации изопропиловым спиртом или парами перекиси водорода, а недоступных зон на них не оставлено.
Столы химической мойки Локальные посты очистки с деионизованной водой и азотом
Это посты, где вспомогательная оснастка производственного участка очищается локально, не создавая загрязнения, а пистолеты сверхчистой воды и азота встроены с продуманной эргономикой. Они позволяют выполнять грубую очистку кварцевых изделий, пинцетов для пластин и тефлоновых кассет.
- Архитектура мойки
- полимерные корпуса, полученные глубокой вытяжкой или бесшовной сваркой и не оставляющие микробиологически недоступных зон.
- Управление средами
- краны деионизованной воды из PFA с гибким изливом, азотные обдувочные пистолеты из PTFE и бесконтактное управление клапанами ножной педалью.
- Ответственные применения
- химическая очистка кварцевых труб, загрязнённых в диффузионных печах, и отмывка лабораторной посуды от стойких кислотных остатков.
Глубина мойки оптимизирована по расчётам разбрызгивания. Кроме того, встроенные щелевые отсосы в задней части вытягивают назад тонкий водяной пар и аэрозоли, не давая им дойти до оператора.
Оно избавляет оператора от необходимости касаться рукояток крана чистыми руками или перчатками, устраняя перекрёстное загрязнение, и одновременно позволяет надёжно удерживать деталь обеими руками.
Вместо обычных U-образных сифонов применяются прямые сливные линии из PP, разработанные для кислых сред, а при необходимости и малые нейтрализационные ёмкости, — вода уходит, нигде не задерживаясь.
Эксикаторные шкафы Герметичные микроклиматические капсулы с азотной продувкой
Это герметичные капсулы, вершина управления микроклиматом, в которых сверхчувствительные к влаге, частицам и кислороду изделия полностью отсекаются от внешней атмосферы подачей инертного газа. Микросхемы, биомедицинские материалы и эталонные образцы для взвешивания хранятся при относительной влажности ниже 1 %, вне риска окисления.
- Управление микроклиматом
- интеллектуальные клапаны азотной продувки с цифровым гигрометром и прозрачный корпус с антистатической защитой.
- Уплотнительная арматура
- полки из нержавеющей стали и шестигранные дверные замки с прокладками EPDM, обеспечивающие абсолютную герметичность.
- Ответственные применения
- хранение распакованных кремниевых пластин вне влаги на полупроводниковых производствах и хранение миниатюрных подшипников из чувствительных к окислению сплавов в авиации.
Благодаря алгоритму интеллектуальной продувки при закрытии дверцы клапаны запускают поток азота большого расхода и быстро продувают камеру — обычно за считаные минуты. По достижении заданной влажности клапан прикрывается, и система переходит в режим экономии газа.
Нет: односторонние автоматические сбросные клапаны на задней стенке откалиброваны так, чтобы давление внутри превышало наружное лишь на несколько паскалей, а избыток газа безопасно стравливается.
Корпус изготавливается из прозрачного антистатического материала. Все стальные полки внутри соединены с корпусом проводящими перемычками, а центральный заземляющий кабель снаружи отводит заряд на контур заземления здания.