Cleanroom Ekipmanları.
Kimyasal lojistiğin steril, antistatik ve tamamen yalıtılmış omurgasını oluşturan ISO 14644 uyumlu donanımlar.
Kimyasal lojistiğin steril, antistatik ve tamamen yalıtılmış omurgası.
Temiz oda ortamına sokulan her donanımın “outgassing” (polimerden gaz salınımı) ve partikül üretim değerleri ISO 14644 standartlarında olmalıdır. Ekipmanlarımız, kimyasal lojistiğin steril, antistatik ve tamamen yalıtılmış omurgasını oluşturur.
Kimyasal Saklama Dolapları Otonom Havalandırmalı Yerel Mini-Reaktör Kasaları
Temiz oda içerisindeki yüksek reaktif ve korozif kimyasalların, kendi otonom havalandırma ve sızıntı yönetim sistemine sahip ultra-güvenli kabinlerde depolandığı yerel mini-reaktör kasalarıdır. Asit, baz ve yanıcı solvent türevlerini, buharlarının temiz odaya karışmasına asla izin vermeden sızıntı havuzlu sistemlerle kilit altında tutar.
- İzolasyon Mimarisi
- İleri düzey FM4910 polimer yapılar ve her kompartıman için bağımsız egzost bağlantı portları.
- Sızıntı Kontrolü
- Kapasitenin %110’unu tutabilen, kaynaksız döküm sıvı toplama havuzları (spill containment) ve aside dayanıklı PTFE menteşeler.
- Kritik Uygulamalar
- Fab fabrikasyon (çip üretim) alanlarında vardiya bazlı kimyasal depolanması ve medikal laboratuvarlardaki agresif sterilizasyon kimyasallarının izolasyonu.
Asla tek bir ortak hava sahasında depolanamazlar. Dolap içi tamamen bağımsız, hava ve sıvı geçişi olmayan izolasyonlu hücrelere bölünür ve her birinin egzostu ayrı branşmanlara bağlanarak çapraz reaksiyon engellenir.
Rafların tabanı perfore veya ızgaralı yapılmış olup, altında ilgili rafın tüm sıvı hacmini (ve hatta daha fazlasını) alabilecek kapasitede kaynaksız döküm polimer havuzlar bulunur. Sıvı burada hapsolur ve sızıntı sensörü alarm verir.
Dolaplarımızda metal menteşe kullanılmaz. Yüksek yüklere dayanabilen tamamen monolitik PP enjeksiyon menteşeler veya teflon (PTFE) donanımlar kullanılarak korozyon riski moleküler olarak reddedilir.
Kimyasal Taşıma Arabaları ESD Güvenlikli Sıçrama Önleyici Mobil Platformlar
Hassas üretim hatlarındaki lojistik zincirinin zayıf halkası olan “transfer” aşamasını, sıçrama (slosh) önleyici hidrodinamik tasarım ve ESD güvenliği ile garanti altına alan mobil platformlardır. Çip kasetlerinin ve kimyasal solüsyon kaplarının istasyonlar arası sıvı sarsıntısı ve elektrostatik risk olmadan taşınmasını sağlar.
- Şasi Dinamikleri
- Elektrostatik yükü sönümleyen iletken polimer (Carbon-filled PP) gövde ve antistatik poliüretan tekerlekler.
- Taşıma Stabilitesi
- Titreşim sönümleyici süspansiyonlar ve kaset/bidon geometrisine uygun CNC işlenmiş özel yuvalar.
- Kritik Uygulamalar
- 300mm wafer üretim hatlarında FOUP taşıma işlemleri ve medikal alanlarda implantların asit banyosundan saf su banyosuna mobil transferi.
Gövdede kullanılan özel katkılı polimer malzeme statik yükü anında antistatik tekerleklere aktarır. Yüzey direnci 106 – 109 Ohm/sq aralığında kalibre edilerek yükün topraklama zeminine kontrollü akışı (dissipative effect) sağlanır.
Taşıyıcı yüzeyler, ivmelenme kuvvetlerini sönümleyen elastomerik yastıkçıklara (pads) sahiptir. Ayrıca taşıma hazneleri sıvı kabının birebir geometrisinde işlenerek çalkantı ivmesi (slosh dynamics) hidrodinamik olarak sınırlandırılır.
Evet, monolitik ve tamamen gözeneksiz polimer yüzey yapıları sayesinde İzopropil Alkol (IPA) veya Hidrojen Peroksit (VHP) ile tam dekontaminasyona uygundur, yüzeyde kör nokta bırakılmamıştır.
Kimyasal Yıkama Tezgahları DI Su ve N₂ Entegreli Lokal Arınma Noktaları
Üretim sahasında kullanılan yardımcı donanımların (tooling), kirliliğe sebep olmadan lokal olarak arındırıldığı; ultra-saf su ve nitrojen (N₂) tabancalarının mükemmel ergonomiyle entegre edildiği arınma noktalarıdır. Quartz camların, wafer maşalarının ve teflon sepetlerin kaba temizliklerinin yapılmasına imkan tanır.
- Evye Mimarisi
- Mikrobiyolojik kör nokta bırakmayan derin çekme (seamless) veya eksiz kaynaklı polimer gövdeler.
- Akışkan Kontrolü
- Boynu bükülebilen PFA DI su muslukları, PTFE nitrojen (N₂) kurutma tabancaları ve temassız ayak pedallı vana kontrolleri.
- Kritik Uygulamalar
- Fırınlama (diffusion furnace) süreçlerinde kirlenen kuvars tüplerin kimyasal arındırılması ve laboratuvar cam malzemelerinin ağır asit kalıntılarından yıkanması.
Tezgahların evye derinliği, sıvı sıçrama analizlerine göre optimize edilmiştir. Ayrıca entegre arka egzost yarıkları (slotted exhaust) sayesinde yüzeydeki ince su buharı ve aerosoller operatöre ulaşmadan geriye doğru emilir.
Operatörün temiz (veya eldivenli) ellerle musluk kollarına dokunmasını engelleyerek çapraz kontaminasyonu sıfırlar ve aynı zamanda yıkama esnasında parçayı iki elle güvenli şekilde tutma ergonomisi sağlar.
Geleneksel ‘U’ sifonlar yerine asitli akışkanlar için özel tasarlanmış düz tahliye PP hatları ve gerekiyorsa mini nötralizasyon tankları ile suların bekleme yapmadan uzaklaşması sağlanır.
Dessicator Kabinleri Azot Purge’lü Hermetik Mikroklima Kapsülleri
Neme, partiküllere veya oksijene duyarlı ultra-hassas ürünlerin, içerisine inert gaz basılarak dış atmosferden tamamen koparıldığı mikroklima yönetiminin zirvesindeki hermetik zaman kapsülleridir. Çiplerin, biyomedikal malzemelerin ve referans tartım numunelerinin oksitlenme risklerine karşı %1’in altında Nem (RH) oranında depolanmasını güvence altına alır.
- Mikroklima Kontrolü
- Dijital higrometre destekli akıllı Azot (N₂) purge (süpürme) valfleri ve statik yalıtımlı transparan şasi.
- İzolasyon Donanımları
- Paslanmaz çelik raf mekanizmaları ve mutlak sızdırmazlık sağlayan EPDM contalı hekzagonal kapı kilitleri.
- Kritik Uygulamalar
- Yarı iletken fabrikasyonunda açılmış (unpackaged) silikon pulların ortamdaki nemden korunarak bekletilmesi ve havacılıkta oksitlenmeye duyarlı özel alaşımlı minyatür rulmanların depolanması.
‘Smart Purge’ algoritması sayesinde, kapak kapandığında valfler yüksek debili Azot akışı başlatarak odayı hızla (genellikle dakikalar içinde) süpürür. Hedef neme ulaşıldığında valf kısılarak gaz tasarrufu moduna geçilir.
Hayır, kabinlerin arka duvarında yer alan tek yönlü otomatik tahliye (bleeder/relief) valfleri, içerideki basınç dış ortama göre sadece birkaç Pascal yüksek tutulacak şekilde kalibre edilmiştir, fazla gaz emniyetle atılır.
Kabin gövdesi ESD-Safe şeffaf malzemeden üretilir. İçerideki tüm çelik raflar, ana gövdeye iletken köprülerle bağlıdır ve kabinin dışındaki merkezi bir topraklama kablosu ile tesisat toprağına deşarj edilir.