Ausstattung für den Reinraum.
Ausstattung nach ISO 14644, die das sterile, antistatische und vollständig abgeschottete Rückgrat der Chemikalienlogistik bildet.
Das sterile, antistatische und vollständig abgeschottete Rückgrat der Chemikalienlogistik.
Jede Ausstattung, die in einen Reinraum kommt, muss bei Ausgasung und Partikelabgabe die Vorgaben der ISO 14644 erfüllen. Unsere Ausrüstung bildet das sterile, antistatische und vollständig abgeschottete Rückgrat der Chemikalienlogistik.
Chemikalienschränke Örtliche Sicherheitsschränke mit eigener Lüftung
Das sind örtliche Sicherheitsschränke mit eigener Lüftung und eigener Leckageüberwachung, in denen hochreaktive und korrosive Chemikalien im Reinraum aufbewahrt werden. Säuren, Laugen und brennbare Lösemittel bleiben mit Auffangwannen sicher verschlossen, ohne dass ihre Dämpfe je in die Reinraumluft gelangen.
- Abschottungsarchitektur
- Hochwertige Polymerkonstruktionen nach FM4910 und je Fach ein eigener Abluftanschluss.
- Leckageüberwachung
- Nahtlos gegossene Auffangwannen für 110 % des Volumens und säurebeständige PTFE-Scharniere.
- Kritische Anwendungen
- Schichtbezogene Chemikalienbevorratung in Chipfabriken und sichere Verwahrung aggressiver Sterilisationschemie in medizinischen Laboren.
Niemals in einem gemeinsamen Luftraum. Der Schrank wird in vollständig getrennte Zellen ohne Luft- und Flüssigkeitsübertritt unterteilt, und jede Zelle wird an einen eigenen Abluftstrang angeschlossen, sodass keine Kreuzreaktion möglich ist.
Die Böden der Fächer sind perforiert oder als Rost ausgeführt; darunter liegen nahtlos gegossene Polymerwannen, die das gesamte Flüssigkeitsvolumen des Fachs und mehr aufnehmen. Die Flüssigkeit bleibt dort zurück und ein Lecksensor schlägt Alarm.
In unseren Schränken kommt kein Metallscharnier zum Einsatz. Hoch belastbare, vollständig monolithische Spritzgussscharniere aus PP oder Beschläge aus Teflon (PTFE) schließen jedes Korrosionsrisiko aus.
Chemikalienwagen ESD-sichere, schwappgedämpfte Transportwagen
Das sind fahrbare Plattformen, die den Transfer — das schwächste Glied der Logistikkette einer Präzisionsfertigung — durch schwappdämpfende Auslegung und ESD-Sicherheit absichern. Chipkassetten und Chemikaliengebinde gelangen ohne Flüssigkeitsschwall und ohne elektrostatisches Risiko von Station zu Station.
- Rahmendynamik
- Korpus aus leitfähigem Polymer (kohlenstoffgefülltes PP), der die statische Ladung ableitet, und antistatische Polyurethanräder.
- Transportstabilität
- Schwingungsdämpfende Federung und CNC-gefräste Aufnahmen, passgenau zur Geometrie von Kassette und Gebinde.
- Kritische Anwendungen
- FOUP-Transporte in 300-mm-Waferlinien und der fahrbare Transfer von Implantaten vom Säure- ins Reinstwasserbad in der Medizintechnik.
Der speziell additivierte Kunststoff des Korpus leitet die statische Ladung sofort in die antistatischen Räder ab. Der Oberflächenwiderstand ist auf 106 – 109 Ohm/sq kalibriert, sodass die Ladung kontrolliert zum Erdungsboden abfließt.
Die Ablageflächen sind mit Elastomerpolstern versehen, die Beschleunigungskräfte dämpfen. Zudem sind die Aufnahmen exakt in der Geometrie des Gebindes gefräst, was die Schwappbewegung hydrodynamisch begrenzt.
Ja. Durch die monolithischen, vollständig porenfreien Kunststoffflächen sind sie für die vollständige Dekontamination mit Isopropanol (IPA) oder Wasserstoffperoxid (VHP) geeignet; es bleiben keine unzugänglichen Stellen.
Chemie-Spültische Örtliche Reinigungsplätze mit DI-Wasser und N₂
Das sind Reinigungsplätze, an denen Hilfsmittel und Werkzeuge der Fertigung örtlich gereinigt werden, ohne Kontamination zu verursachen, und in die Reinstwasser- und Stickstoffpistolen (N₂) ergonomisch eingebunden sind. Sie erlauben die Grobreinigung von Quarzglas, Waferpinzetten und Teflonkörben.
- Beckenaufbau
- Tiefgezogene oder nahtlos verschweißte Polymerkörper, die keine mikrobiologisch unzugänglichen Stellen zurücklassen.
- Fluidsteuerung
- Schwenkbare PFA-Auslässe für DI-Wasser, PTFE-Trockenpistolen für Stickstoff (N₂) und berührungslose Fußpedalsteuerung der Ventile.
- Kritische Anwendungen
- Chemische Reinigung der im Diffusionsofen verunreinigten Quarzrohre und Entfernung schwerer Säurerückstände von Laborglas.
Die Beckentiefe ist anhand von Spritzanalysen optimiert. Zusätzlich saugen integrierte Schlitzabsaugungen an der Rückwand feinen Wasserdampf und Aerosole nach hinten ab, bevor sie den Bediener erreichen.
Sie verhindert, dass der Bediener mit sauberen oder behandschuhten Händen die Armaturen berührt, schließt damit eine Kreuzkontamination aus und lässt ihn das Bauteil beim Spülen sicher mit beiden Händen halten.
Statt herkömmlicher U-Siphons kommen eigens für saure Medien ausgelegte gerade PP-Ablaufleitungen und bei Bedarf kleine Neutralisationsbehälter zum Einsatz, sodass nichts stehen bleibt.
Exsikkatorschränke Hermetische Mikroklimakapseln mit Stickstoffspülung
Das sind hermetische Kapseln an der Spitze der Mikroklimaführung: Feuchte-, partikel- oder sauerstoffempfindliche Produkte werden durch Einleiten von Inertgas vollständig von der Außenluft getrennt. Chips, biomedizinische Werkstoffe und Referenzproben lagern so bei unter 1 % relativer Feuchte ohne Oxidationsrisiko.
- Mikroklimaregelung
- Intelligente Stickstoff-Spülventile (N₂) mit digitalem Hygrometer und ein transparentes, statisch abgeschirmtes Gehäuse.
- Dichtungs- und Abschottungstechnik
- Fachböden aus Edelstahl und sechseckige Türverschlüsse mit EPDM-Dichtung für absolute Dichtheit.
- Kritische Anwendungen
- Zwischenlagerung ausgepackter Siliziumwafer in der Halbleiterfertigung unter Feuchteschutz und Aufbewahrung oxidationsempfindlicher Miniaturlager aus Speziallegierungen in der Luftfahrt.
Über den Smart-Purge-Algorithmus öffnen die Ventile beim Schließen der Tür einen kräftigen Stickstoffstrom und spülen den Innenraum meist binnen Minuten. Ist der Sollwert erreicht, drosseln sie in den Gassparbetrieb.
Nein. Die selbsttätigen Rückschlag- und Überdruckventile in der Rückwand sind so eingestellt, dass der Innendruck nur wenige Pascal über dem Umgebungsdruck liegt; überschüssiges Gas entweicht sicher.
Das Gehäuse besteht aus ESD-sicherem transparentem Werkstoff. Alle Stahlböden im Inneren sind über leitfähige Brücken mit dem Korpus verbunden und werden über ein zentrales Erdungskabel außen an die Anlagenerde abgeleitet.